У производњи полупроводника, чак и делови-на-трилион нивоа металне контаминације могу да униште приносе уређаја. Испирање топлом дејонизованом водом се у великој мери користи, и сваки грејач који је у контакту са овом водом мора бити апсолутно без метала који се могу излужити. ПТФЕ грејачи испуњавају овај строги захтев.
Врућа ДИ вода у производњи полупроводника
Врућа дејонизована (ДИ) вода се користи у фабрикама полупроводника за разне критичне процесе чишћења, као што су чишћење плочица, одстрањивање отпорности и опште испирање. Вода континуирано циркулише кроз систем и одржава се на високом отпору од 18 мегаохм- центиметара (МΩ·цм) на 25 степени. Ово осигурава да вода остане ултра чиста, што је неопходно за избегавање контаминације током процеса производње полупроводника.
Температура ДИ воде се обично одржава у опсегу од 70-90 степени да би се ефикасно уклонили загађивачи и побољшала ефикасност процеса чишћења. Овај температурни опсег је неопходан за оптималну обраду вафла и постиже се коришћењем специјализованих грејача.
Ризик од контаминације грејача са металним{0}} плаштем
Док се грејачи са металним-платиштем, као што су они од нерђајућег челика или Инцолои-а, обично користе у многим индустријским апликацијама за грејање, они представљају значајан ризик у апликацијама високе{1}}чистоће као што је производња полупроводника. Током времена, метални грејачи испирају трагове јона, као што су гвожђе, никл и хром, у ДИ воду. Ови метални јони могу деградирати чистоћу воде, што доводи до контаминације чак и при најмањим концентрацијама. Ова контаминација може озбиљно да утиче на квалитет плочице, смањујући приносе уређаја и захтевајући чешћу замену слоја смоле да би се обновила чистоћа воде.
Да би се спречили ови проблеми, грејачи у контакту са ултра чистом ДИ водом морају бити направљени од материјала који не уносе никакве нечистоће у воду.
Зашто су ПТФЕ грејачи наведени
ПТФЕ (политетрафлуороетилен) грејачи су специфицирани за резервоаре за испирање топле ДИ воде у фабрикама полупроводника због њихове изузетне хемијске отпорности и инертности. ПТФЕ не садржи метале, што значи да неће испирати металне јоне у воду, чиме се осигурава да вода остане ултрачиста. Ово је кључно за одржавање високе отпорности воде која је потребна за производњу полупроводника.
ПТФЕ грејачи су у стању да издрже опсег радне температуре од 70-90 степени, што их чини веома погодним за ову примену. У неким случајевима, ПФА (перфлуороалкокси) се користи уместо ПТФЕ када је потребна још већа чистоћа или температурна толеранција, пошто ПФА може да издржи више температуре без угрожавања интегритета материјала.
Кључна предност употребе ПТФЕ у резервоарима за испирање воде са ДИ је његова дугорочна{0}}стабилност. За разлику од металних грејача, ПТФЕ не захтева често одржавање или замену због проблема са контаминацијом. Ово доводи до доследнијих и поузданијих перформанси у окружењима високе{3}}чистоће, смањујући оперативне трошкове током времена.
Техничка разматрања за ПТФЕ грејаче
У производњи полупроводника, отпорност ДИ воде мора да се одржава на 18 МΩ·цм на 25 степени да би се осигурало да је заиста ултра чиста. ПТФЕ грејачи су једини материјали омотача грејача који су прихваћени за директан контакт са ултра чистом водом у овим критичним применама. Да би се избегло било какво локализовано кључање или стварање честица, густина грејача у ватима мора бити конзервативна. Ово помаже у спречавању врућих тачака које могу довести до нежељене контаминације или физичког оштећења водоводног система.
Спецификација чистоће: Границе контаминације металом
У полупроводничким апликацијама високе{0}}чистоће, границе контаминације металом су изузетно ниске. На пример, нивои контаминације морају остати испод 1 ппб (делова на милијарду) јона гвожђа, никла или других метала у води са ДИ. ПТФЕ грејачи, са својом не-композицијом, идеални су за испуњавање ових строгих спецификација чистоће.
Закључак
ПТФЕ грејачи су од суштинског значаја за одржавање ултра чисте воде у производњи полупроводника, обезбеђујући да се метални јони не испуштају у воду током процеса чишћења. Избор материјала за апликације високе{1}}чистоће, као што су полупроводничке фабрике, вођен је потребом за прецизном контролом контаминације. ПТФЕ грејачи су посебно дизајнирани да испуне ове ригорозне захтеве, пружајући поуздано решење за загревање ДИ воде без угрожавања квалитета воде или приноса уређаја.
