РЦА чист-стандардна секвенца чишћења плочице-користи растворе СЦ1 и СЦ2 на повишеним температурама за уклањање честица и металних нечистоћа. Измењивачи топлоте који контролишу ове температуре купатила морају допринети нули додатној контаминацији метала, или је цео корак чишћења угрожен.
РЦА процес чишћења
ТхеРЦА чистпроцес, критичан корак у припреми полупроводничких плочица, користи два решења за чишћење:СЦ1(амонијум хидроксид, водоник пероксид и вода) иСЦ2(хлороводонична киселина, водоник пероксид и вода). Оба решења делују на70-80 степении имају различите улоге у уклањању загађивача:
СЦ1 Солутион: Примарно се користи за уклањање органских загађивача и честица, СЦ1 делује као оксидациони раствор. Високо{2}}окружење са високим температурама обезбеђује ефикасно чишћење, разбијајући органске остатке и честице које се могу залепити за површину плочице.
СЦ2 Солутион: Овај раствор се користи за уклањање металних јона са површине плочице. Комбинација хлороводоничне киселине и водоник пероксида обезбеђује неопходну хемијску реактивност за растварање и уклањање металних загађивача из плочице, обезбеђујући чисту површину за даљу обраду.
И СЦ1 и СЦ2 решења су веома добракорозивнаиоксидирајући, који захтевају робусне системе који могу да издрже таква окружења док истовремено спречавају контаминацију из измењивача топлоте који се користе за одржавање њихове температуре.
Улога ПТФЕ измењивача топлоте у чишћењу РЦА
Висококорозивнаприрода СЦ1 и СЦ2 решења захтева да се измењивачи топлоте у овој апликацији конструишу одфлуорополимери, као што јеПТФЕилиПФА, који нуде одличну хемијску отпорност. Ови измењивачи служе да регулишу температуру раствора, обезбеђујући да они остану у жељеном радном опсегу, истовремено штитећи интегритет процеса чишћења.
Спољне рециркулацијске петље: ПТФЕ или ПФА измењивачи топлоте су интегрисани у систем као део спољних рециркулацијских петљи које загревају или хладе решења СЦ1 и СЦ2 по потреби. Овај приступ-затворене петље обезбеђује конзистентне температуре раствора без увођења металних јона из процеса грејања/хлађења.
Инерт Пропертиес: ПТФЕ и ПФА размењивачи топлоте су потпуно инертни, што значи да не испуштају јоне у раствор, чак ни наделова-на-трилионгранице детекције окружења за производњу полупроводника. Ово је кључно за одржавање интегритета процеса чишћења плочице, где контаминација металом може довести до значајног губитка приноса уређаја.
Унапредна фабрика полупроводника, где се мере буџети за контаминацијуатома по квадратном центиметру, потреба за-без јонарешења за пренос топлоте су најважнија. Самоизмењивачи флуорополимераможе испунити ове строге захтеве, обезбеђујући да се процес чишћења РЦА изводи без уношења додатних загађивача на површину плочице.
Материал Граде
Само за апликације полупроводникаПТФЕ високог{0}}чистоћеилиПФАтреба користити у изградњи измењивача топлоте. Ови материјали испуњавају најстроже стандарде захемијска отпорностичистота, осигуравајући да се честице или јони не испуштају у каде за чишћење. Флуорополимери који нису -полупроводнички- могу да садрже нечистоће или загађиваче који могу негативно да утичу на процес чишћења.
Закључак
ПТФЕ/ПФА размењивачи топлотеиграју незаменљиву улогу уРЦА чистпроцес, обезбеђујући поуздану контролу температуре раствора СЦ1 и СЦ2 без уношења металне контаминације. Чувајући чистоћу површине плочице, ови измењивачи директно доприносе већем приносу уређаја и побољшаним производним резултатима. Како индустрија полупроводника наставља да се залаже за напредне технологије, потражња заматеријале највише{0}}чистоћеу свакој фази производње, укључујући чишћење плочице, остаје основни услов за успех.
