Након што се сложени обрасци кола угравирају у силиконску плочицу, заштитна фотоотпорна маска-слој чврстог-попречно повезаног полимера-мора да се потпуно и чисто скине. Ово се постиже у врућој купки снажних, агресивних органских растварача, често загрејаних на преко сто степени Целзијуса. Потопни грејач унутар ове испарљиве, корозивне хемије мора бити направљен од материјала који растварачи не могу да растворе, набубре или контаминирају. ПТФЕ је тај хемијски неми, инертни материјал.
Улога ПТФЕ грејача у уклањању фоторезиста
Купатило за скидање обично се састоји од мешавине растварача као што је Н-Метил-2-пиролидон (НМП), диметил сулфоксид (ДМСО) и јаких алкалних амина, загрејаних на 80–110 степени. ПТФЕ урањајући грејач је стандардни избор за ову примену. Његов хемијски инертан омотач је потпуно отпоран на агресивне раствараче, који би иначе напали стандардну пластику и кородирали метале.
ПТФЕ грејач обезбеђује чисту, стабилну и прецизну топлоту без отпуштања металних јона или других загађивача који би се могли таложити на нетакнуту површину плочице. Нелепљива, глатка ПТФЕ површина отпорна је на накупљање растворених остатака фоторезиста, одржавајући савршено чисту грејну површину током поновљених циклуса. ПТФЕ грејач фоторезист скидања плочице обезбеђује равномерну дистрибуцију температуре и минимизира локализовано кључање или ударце које би могле да поремете деликатне плочице.
„ПТФЕ грејач је хемијски нечујан, врео прст у кади са моћним растварачима, који уклања маску без остављања ни једног трага о себи, док одржава плочицу нетакнуту и електрично беспрекорну.“
Безбедносна разматрања
Мешавина растварача је запаљива, токсична и често ради близу тачке кључања. Одговарајући дизајн резервоара, укључујући затворена кућишта, уземљење и вентилацију, је обавезан да би се спречила опасност од пожара, излагања пари или електростатике. Потребне су конзервативне густине у ватима да би се одржало контролисано грејање и избегло ударање растварача или локализовано прегревање на ПТФЕ омотачу.
Оперативне предности
Коришћење ПТФЕ грејача у овом процесу омогућава:
Хемијски имунитет на агресивне смеше растварача.
Одржавање апсолутне чистоће плочице и електричног интегритета.
Дугорочна{0}}поузданост без корозије или деградације.
Равномерно {{0}загревање без остатака критично за-производњу полупроводника високог приноса.
Закључак
ПТФЕ имерзиони грејач је критичан, хемијски отпоран извор топлоте који омогућава чисто, потпуно уклањање фоторезиста са плочица у производњи полупроводника. Обезбеђивањем стабилне топлоте без загађивача-у веома агресивном купатилу са растварачем, ПТФЕ грејач обезбеђује атомску чистоћу која је неопходна за савремену микроелектронику. Савршена, беспрекорна површина компјутерског чипа постиже се комбинацијом хемијске агресије и инертног, поузданог загревања.
